モデル：GFL-3000
有効測定範囲：300×200（mm）
外形寸法：705*770*1300（mm）
テーブルサイズ：320*220（mm）
テーブル重量：200（Kg）
測定精度：平面度測定繰返し精度<5 um
台座構造：精密花崗岩台座
作業台：プラットフォーム式構造を採用し、航空材質アルミニウム合金作業台
モータ：精密サーボモータ
ワイヤロッド：精密研磨級静音ワイヤロッド
ガイドレール：P級高精密直線ガイドレール
治具：異なる部品に対して測定する専用治具
制御方式：CNC自動
測定センサー：3組の入口レーザー測定ヘッドシステム
動作距離：46 mm
電源要求：220±10 V 50±5 Hz（設備要求接地信頼性、接地抵抗4オーム未満）
動作環境：20℃±2℃、温度変化≦1℃/hr、湿度45%~ 75%、振動＜0.002 g、15 Hz未満